在光刻機與封裝產(chǎn)線雙場景下Chiller（溫控設備）需同時滿足光刻工藝溫控和封裝可靠性測試熱管理的嚴苛需求，尤其在薄膜沉積等核心設備中，其技術適配性體現(xiàn)在以下維度：

一、雙場景技術適配Chiller

1、光刻機場景：準確溫控

激光光源冷卻：采用雙循環(huán)冷卻架構，主循環(huán)維持20℃基準溫度（波動±0.1℃），次級循環(huán)針對EUV光源提供-10℃低溫，影響光源功率漂移。

工件臺熱穩(wěn)定性：通過鈦合金微通道換熱器直接冷卻平臺，結合溫度反饋算法，實現(xiàn)晶圓表面溫度梯度。

薄膜沉積工藝：在ALD/CVD過程中，Chiller需準確控制反應腔體溫度，確保薄膜均勻性。

2、封裝產(chǎn)線場景：寬溫區(qū)快速切換

高溫老化測試：模擬芯片在150℃環(huán)境下的長期穩(wěn)定性，Chiller需支持10℃/min快速升溫，并結合熱回收技術降低能耗。

低溫存儲驗證：在-40℃環(huán)境下驗證封裝材料抗脆裂性，Chiller采用雙壓縮機冗余設計，確保低溫段控溫精度±0.2℃。

溫度沖擊試驗：在-65℃~150℃范圍內(nèi)實現(xiàn)30秒溫變，篩選潛在工藝缺陷。

二、薄膜沉積設備溫控方案

1、熱管理挑戰(zhàn)

化學氣相沉積（CVD）：反應腔體需維持高溫（如200℃），但基座需冷卻至50℃以防止熱應力開裂。Chiller采用分區(qū)控溫設計，高溫區(qū)用導熱油循環(huán)加熱，低溫區(qū)由冷水機組提供15℃冷卻水，溫差梯度控制精度達±1℃。

物理氣相沉積（PVD）：濺射靶材溫度需穩(wěn)定在200℃±1℃，Chiller通過脈沖寬度調(diào)制（PWM）控制冷卻液流速，避免靶材過熱變形。

2、國內(nèi)設備商創(chuàng)新方案

冠亞恒溫Chiller：推出多通道獨立控溫系統(tǒng)，支持光刻機與封裝產(chǎn)線并聯(lián)運行，通過PID+模糊控制算法，實現(xiàn)光刻環(huán)節(jié)±0.1℃、封裝環(huán)節(jié)±0.1℃的差異化精度需求。

冠亞恒溫采用定制Chiller系統(tǒng)，通過多場景算法適配、分區(qū)控溫架構、冗余安全設計，系統(tǒng)性解決光刻機與封裝產(chǎn)線的溫控需求，尤其針對薄膜沉積等核心設備提供定制化解決方案，助力國產(chǎn)半導體產(chǎn)線發(fā)展。