LNEYA 帕爾貼熱電的CHILLER有五款款型號(hào)可選，為晶圓蝕刻工藝提供可靠和精確的溫度控制

重要功能和優(yōu)勢(shì)
·高可靠性和低使用成本
·工業(yè)空間占用率小
·極低的導(dǎo)熱液填充量
·低能耗，沒(méi)有壓縮機(jī)和制冷劑的系統(tǒng)，同時(shí)只有在有負(fù)載時(shí)輸出，大幅度降低能耗
制熱、直冷時(shí)，冷熱部件沒(méi)有與導(dǎo)熱液直接接觸
·動(dòng)態(tài)控溫，精準(zhǔn)控制過(guò)程溫度，快速溫度響應(yīng)
·溫度漂移保護(hù)功能使得刻蝕的輪廓更加穩(wěn)定
·改善Wafer-Wafer的穩(wěn)定性
·模塊化部件使得維修更加方便
·使用全氟液體