適用范圍

FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，公司在系統中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統的響應速度、控制精度和穩定性。

每個通道具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能力、導熱介質流量等，采用獨立的兩套系統，根據所需的溫度范圍選擇采用蒸汽壓縮制冷，或者采用ETCU無壓縮機換熱系統，系統可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統等，可以有效減少設備尺寸，減少操作步驟。

加載情況下控溫精度可達士0.1℃，可在-45℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性。