半導(dǎo)體水冷機(jī)chiller在元器件制造中的應(yīng)用
781在半導(dǎo)體制造過程中,許多關(guān)鍵工藝如晶圓清洗、光刻、蝕刻等都需要溫度控制。這些工藝對溫度波動非常靈敏,微小的溫度變化都可能影響產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。 一、半導(dǎo)體水冷機(jī)chiller需求分析 半導(dǎo)體制造工藝對溫度...
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