在制藥化工行業，光刻機用冷水機組是使用較多的制冷設備，常配套用于各種反應釜進行制冷反應，其具備運作平穩靠譜的優勢、常見故障少、特性好、震動小，噪音低、便于維護保養、使用期限長等優勢。

1、光刻機用冷水機組設備可依據冷載貨量的尺寸，能夠應用一臺設備或幾臺設備的組成。制冷壓縮機能夠依據負荷轉變 全自動更替運作，自動調節動能，均衡每一個制冷壓縮機的時間，大大的增加了使用期限。

2、光刻機用冷水機組蒸發器的銅管選用內，外螺桿式壓縮機提升管。銅管的表層含有外螺紋，銅管的外表層光潔、排熱效果非常的好。蒸發器行為主體由25mm厚的PE防靜電膠皮絕緣層，無冷凝，制冷損害小。

3、光刻機用冷水機組維護系統軟件設備包含：制冷壓縮機延時啟動保護裝置、過流保護器、高壓低壓保護裝置、溫控器、防寒電源開關、熔斷絲電源插頭、電子器件時間維護閥門、制冷壓縮機過過載保護器、制冷壓縮機經常運行保護裝置和出現異常標示保證機器設備一切正常運作。

4、智能化的電子計算機自動控制系統，它具備多種多樣作用及其紀錄常見故障緣故。實際操作簡易，服務器聯接到開關電源。設備故障率低，性能高，安裝操作方便，控制系統可及時，形象化，靠譜地開展調節。

5、設備的冷卻器成梯狀低肋管，以提升熱傳導工作能力。銅管表層光潔，可減少壓力，便于清理和維護保養。