光刻機用低溫冷水機組多運用于各個行業之中，很多行業都需要購買光刻機來進行作業，這也涉及到光刻機用低溫冷水機組的日常維護。

1、光刻機用低溫冷水機組組冷卻系統的基本部件有：冷凝器、受液器、干燥過濾器、蒸發器、熱膨脹閥等等。

2、光刻機用低溫冷水機組組是將常溫的水通過冷水機的壓縮機制冷到溫度以強化冷卻模具或機器，作為單機使用，散熱裝置為內置之風扇，主要有三個相互聯系的系統：制冷劑循環系統、水循環系統、電器自控系統。

3、光刻機用低溫冷水機組蒸發器中的液態制冷劑吸收水中的熱量并開始蒸發，終制冷劑與水之間形成溫度差，液態制冷劑亦蒸發變為氣態，后被壓縮機吸入并壓縮（壓力和溫度增加）,氣態制冷劑通過冷凝器釋放熱量，凝結成液體。通過膨脹閥（或毛細管）節流后變成低溫低壓制冷劑進入蒸發器，完成制冷劑循環過程。

4、定期清洗冷凝器、蒸發器，使整機保持良好運轉；保持光刻機用低溫冷水機組冷卻塔清潔干凈，定期清洗，冷卻塔內不得有雜物及其它障礙物，以免造成傷害。

5、光刻機用低溫冷水機組的冷凍水泵不可在水箱內無水運轉；操作開關請盡理避免連續切換。

6、水溫達到設定溫度時，壓縮機會自動停止運行，此屬正常現象；溫度開關應避免設定在5℃以下，防止蒸發器結冰。