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LTS?-80℃~80℃

LTS?-80℃~80℃

廣泛運用在半導體制程中對反應腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱介質(zhì) 不可燃流體控溫場所,適用于半導體芯片制造、芯片器件、航空電子設 備中的制冷加熱溫度控制。

廠家實力視頻:

生產(chǎn)車間面積超1.2萬㎡,2021年銷售額突破3億元,在職員工近300人。

應用行業(yè)

無錫冠亞氟化液制冷加熱控溫系統(tǒng)廣泛運用在半導體制程中對反應腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱截止不可燃流體控溫場所,適用于半導體芯片制造流程、功率器件、航空電子設備中的制冷加熱溫度控制。

產(chǎn)品不僅能在眾多傳熱應用中提供較好性能,而且不會對人身安全和環(huán)境可持續(xù)性產(chǎn)生負面影響。氟化液制冷加熱控溫是使用不可燃的絕緣液體氟化液,具有工作溫度范圍寬泛,易于維護等特點,是傳統(tǒng)冷卻液體(如水、水乙二醇或油)的理想替代品。氟化液制冷加熱控溫系統(tǒng)用途廣泛,從半導體制程過程冷卻,再到對航空航天電子設備的冷卻都有應用。

結構原理

控溫系統(tǒng)結構設計原理和功能優(yōu)勢 采用全密閉管道式設計,降低導熱液需求量的同時,提高系統(tǒng)的熱量利 用率,達到快速升降溫度。

氟化液具有低毒性、不可燃,屬于一種不會影響環(huán)境的可持續(xù)性發(fā)展的 高性能產(chǎn)品,可使溫室氣體排放量減少。同時針對氟化液易揮發(fā)特點, 加強接頭設計、系統(tǒng)密封設計,確保介質(zhì)使用壽命。

 

型號LTS-802LTS-803LTS-804LTS-806LTS-808
LTS-802WLTS-803WLTS-804WLTS-806WLTS-808W
溫度范圍??-80℃~80℃
控溫精度±0.1℃? -80℃~-50℃
流量控制7~25L/min12~45L/min
流量控制采用變頻器調(diào)節(jié),循環(huán)泵最大壓力5bar
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L
系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力、循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
控制器PLC控制器,模糊PID控制算法,具備串級控制算法
溫度控制導熱介質(zhì)出口溫度控制模式
外接溫度傳感器:(PT100或4~20mA或通信給定)控制模式(串級控制)
通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
RS485接口 modbus RTU協(xié)議
設備內(nèi)部溫度反饋設備導熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)進口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設備有)
密閉循環(huán)系統(tǒng)整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng),低溫不吸收空氣中水份,不揮發(fā)導熱介質(zhì),低溫自動補充導熱介質(zhì)進入循環(huán)系統(tǒng)
壓縮機艾默生谷輪/丹佛斯渦旋柔性壓縮機
循環(huán)泵磁力循環(huán)泵
蒸發(fā)器板式換熱器
冷凝器銅管鋁翅片冷凝器
板式換熱器(水冷),特別注意:需要使用清潔廠務水
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器)
操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導出
安全防護具有自我診斷功能;相序斷相保護器、冷凍機過載保護;高壓壓力開關,過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標準顏色7035)

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