在晶圓測(cè)試環(huán)節(jié)，高功率芯片因運(yùn)算負(fù)荷集中、熱密度高，易出現(xiàn)局部過熱現(xiàn)象，熱控卡盤作為晶圓測(cè)試中直接與芯片接觸的溫控核心部件之一，其應(yīng)用優(yōu)化需圍繞熱量均勻傳遞、動(dòng)態(tài)熱負(fù)載適配、局部溫度準(zhǔn)確調(diào)控展開，解決高功率芯片測(cè)試的局部過熱問題，保障測(cè)試過程的穩(wěn)定性與數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。

　一、高功率芯片測(cè)試局部過熱的核心成因

高功率芯片測(cè)試中的局部過熱，主要源于三方面因素，其一，芯片自身熱分布不均，高功率芯片的核心功能模塊在測(cè)試時(shí)效率集中，單位面積產(chǎn)熱量遠(yuǎn)高于其他區(qū)域，形成局部熱熱點(diǎn)；其二，傳統(tǒng)熱控卡盤的熱傳導(dǎo)存在局限，若卡盤與芯片接觸界面存在間隙，或卡盤自身導(dǎo)熱材質(zhì)熱傳導(dǎo)效率不均，會(huì)導(dǎo)致熱量無法快速?gòu)男酒瑹狳c(diǎn)傳遞至卡盤內(nèi)部的換熱系統(tǒng)；其三，測(cè)試過程中動(dòng)態(tài)熱負(fù)載變化，高功率芯片在不同測(cè)試工況下熱功率波動(dòng)大，傳統(tǒng)卡盤的控溫響應(yīng)速度滯后，無法及時(shí)調(diào)整制冷/加熱功率，導(dǎo)致局部熱量堆積。

二、熱控卡盤的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)化

　　1、接觸界面的熱傳導(dǎo)增強(qiáng)

熱控卡盤與芯片的接觸界面是熱量傳遞的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。在材質(zhì)選擇上，卡盤接觸層采用高導(dǎo)熱系數(shù)的金屬合金或陶瓷復(fù)合材料，這類材質(zhì)兼具優(yōu)異導(dǎo)熱性與低熱膨脹系數(shù)，可減少因溫度變化導(dǎo)致的界面間隙；同時(shí)，接觸層表面進(jìn)行拋光處理，控制平整度在微米級(jí)，確保與芯片表面緊密貼合，避免空氣間隙形成的熱阻。

2、內(nèi)部換熱通道的分區(qū)設(shè)計(jì)

針對(duì)芯片局部熱熱點(diǎn)的熱量擴(kuò)散需求，熱控卡盤內(nèi)部采用分區(qū)式換熱通道設(shè)計(jì)。卡盤內(nèi)部根據(jù)晶圓測(cè)試中芯片的典型熱分布，劃分多個(gè)單獨(dú)的換熱單元，每個(gè)單元對(duì)應(yīng)芯片的特定區(qū)域，且配備單獨(dú)的制冷劑流道與加熱元件。

　三、熱控卡盤的控溫技術(shù)革新

　　1、多傳感協(xié)同的局部溫度監(jiān)測(cè)

為準(zhǔn)確捕捉芯片局部溫度變化，熱控卡盤集成多組微型溫度傳感器，在卡盤接觸層的芯片熱點(diǎn)對(duì)應(yīng)位置，布置電阻傳感器，實(shí)時(shí)采集局部溫度數(shù)據(jù)；同時(shí)，在卡盤內(nèi)部的各換熱單元進(jìn)出口布置溫度傳感器，監(jiān)測(cè)制冷劑溫度變化，間接判斷局部換熱效率。

2、動(dòng)態(tài)控溫算法的適配應(yīng)用

針對(duì)高功率芯片動(dòng)態(tài)熱負(fù)載變化導(dǎo)致的局部過熱，熱控卡盤引入動(dòng)態(tài)控溫算法。算法基于多傳感器采集的實(shí)時(shí)溫度數(shù)據(jù)與歷史測(cè)試數(shù)據(jù)，構(gòu)建熱負(fù)載變化模型，此外，算法還具備熱補(bǔ)償功能，當(dāng)芯片非熱點(diǎn)區(qū)域溫度過低時(shí)，可適當(dāng)提升該區(qū)域加熱功率，避免因溫差過大導(dǎo)致的芯片性能波動(dòng)，同時(shí)確保熱點(diǎn)區(qū)域的制冷資源集中供給。

四、熱控卡盤與測(cè)試流程的適配優(yōu)化

為減少測(cè)試初期因溫度偏差導(dǎo)致的局部過熱，需在測(cè)試前對(duì)熱控卡盤進(jìn)行預(yù)熱與準(zhǔn)確校準(zhǔn)。預(yù)熱階段，卡盤通過內(nèi)部加熱元件將整體溫度升至芯片測(cè)試的初始溫度，并保持溫度穩(wěn)定，避免因卡盤與芯片初始溫差過大，導(dǎo)致芯片接觸瞬間局部熱量無法擴(kuò)散；校準(zhǔn)階段，通過標(biāo)準(zhǔn)溫度源對(duì)卡盤的各分區(qū)溫度傳感器與控溫模塊進(jìn)行校準(zhǔn)，記錄不同區(qū)域的溫度偏差，建立補(bǔ)償數(shù)據(jù)庫(kù)，在后續(xù)測(cè)試中，系統(tǒng)可根據(jù)芯片測(cè)試位置，調(diào)用對(duì)應(yīng)區(qū)域的補(bǔ)償參數(shù)，確保局部溫度控制精度。

熱控卡盤在晶圓測(cè)試中的應(yīng)用優(yōu)化，解決了高功率芯片測(cè)試的局部過熱問題。隨著高功率芯片向更高熱密度、更復(fù)雜熱分布發(fā)展，熱控卡盤的優(yōu)化為高功率芯片的研發(fā)測(cè)試與量產(chǎn)驗(yàn)證提供堅(jiān)實(shí)的溫控支撐。